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- 中图仪器SJ6000超精密便携激光干涉仪是国产光学干涉仪品牌，可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；在动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
技术规格
稳频精度 0.05ppm
动态采集频率 50 kHz
预热时间 ≤ 6分钟
工作温度范围 (0~40)℃
存储温度范围 (-20~70)℃
环境湿度 (0~95)%RH
线性测量距离 (0~80)m (无需远距离线性附件)
线性测量精度 0.5ppm (0~40)℃
角度轴向量程 (0~15)m
角度测量精度 ±(0.02%R+0.1+0.024M)″
产品功能
（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；
（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
（5）SJ6000超精密便携激光干涉仪具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
（6）支持手动或自动进行环境补偿。
光刻机Y轴Vertical Straightness测量
传感器线性精度测量
产品配置
SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。
SJ6000超精密便携激光干涉仪测量分辨率可达0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要由SJ6000激光干涉仪主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000回转轴测量软件构成。
深圳市中图仪器科技有限公司
罗健
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