中图仪器光学3D表面轮廓仪是以白光干涉技术为原理的光学测量仪器，在超精密加工显微测量场景中能对各种产品、部件和材料表面的平面度、面形轮廓、腐蚀情况、粗糙度、台阶高度等表面形貌特征进行测量和分析，如对飞机发动机叶片表面粗糙度的测量、衍射原件轮廓尺寸的测量、金字塔金刚石磁头表面轮廓的测量等。

数秒内就可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量。从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

超光滑透镜测量
超光滑透镜测量摩擦磨损形貌测量
金属片磨损分析
金属光滑凹面轮廓测量
 

现有的光学非接触测量方法难以完成高反射曲面零件的三维形貌高精度测量，也难以满足现代工业数字化需求。利用白光干涉扫描技术为基础研制而成的光学3D表面轮廓仪，就是一种用于对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维检测的光学测量仪器，它的特点是可以达到纳米级的检测精度。测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，可以快速获取被测工件表面三维形貌和数据进行检测，主要用于成品质量的管理，确保良品合格率。