中图仪器w1光学3d轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能。测量过程中中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能以及自动拼接测量、定位自动多区域测量功能实现大区域、高精度的测量,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
在程序分析过程中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能,和粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
应用场景:粗糙的特征表面
涂覆在电极棒的催化剂表面整体尺寸在7mm左右,中心的催化剂区域呈低反射率特点,而圆环外呈高反射率特点,整体的轮廓尺寸和微观的轮廓起伏反映了涂覆的质量。
根据客户精度要求,可将3d形貌轮廓一键测量仪器的重建算法切换为高速扫描的FVSI重建算法,并可依据表面粗糙程度,选择不同步距进行速度调节。
w1光学3d轮廓仪设备superViewW1采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件,采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收,其中台阶高标准片高度在4.7um左右,测量精度要求为<0.75%,重复精度要求<0.1%(1σ)(测量15次获取的数据标准差),主要用于对样品表面的2D、3D形貌进行测量,主要测量参数为粗糙度、台阶高、几何轮廓等。