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技术指标:真空室:直径600mm,高800mm沉积温度:室温-300℃气氛:10-4~10-5Pa仪器用途:制备各种涂层和成型器件,制备任何金属和非金属及其化合物、微电子和光电子材料和薄膜的制作及各种...
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主要技术指标:8寸 功能/应用范围:抛光硅片 主要测试和研究领域:电子/信息技术 收费标准:其它收费方式 ...
上海杨浦区