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功能 应用于低压镀膜等离子设备 特点 ˙微处理器控制 ˙可设定的非对称电压输出 ˙具定电压、定功率，定电流模式选择 ˙具过电流、电压、功率保护等 ˙具减弧及电弧抑制 ˙可应用于不同靶材镀膜，如镍、铜、铝、钛等 ˙输出频率可调整 ˙全自动且容易操作 ˙设备稳定高，容易维护 ˙可依客户需求作更改 应用产业 ˙镀膜产业 ˙半导体产业 ˙光电产业 ˙太阳能产业
馗鼎奈米科技股份有限公司
梁雅娟
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