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功能 可进行去胶渣、表面清洁、活化、改善、接枝或粗糙化等 特点 ．高密度等离子源，等离子效率高，减少制程时间 ．专利设计之特殊等离子电极 ．特殊之气体进气、扩散及抽气系统设计 ．处理之均匀性佳 ．等离子均匀性佳 ．可使用多种制程气体 ．全自动且容易操作 ．设备稳定高，容易维护 ．可根据客户需求设计专用特殊规格之机台 应用产业 ．PCB、FPC ．印刷或黏着前之表面粗化或清洁
馗鼎奈米科技股份有限公司
梁雅娟
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