序号 组分气体 稀释气体 "1. 2. 3. 4." "硅烷（SiH4）氯硅烷（SiCl4）二氯二氢硅（SiH2C12）乙硅烷（Si2H6）" "氦、氩、氢、氮氦、氩、氢、氮氦、氩、氢、氮氦、氩、氢、氮"
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