材质 蚀刻气体 " 铝（Al） 铬（Cr） 钼（Mo） 铂（Pr） 聚硅 硅（Si） 钨（W）" " 氯硅烷（SiCl4）+四氯化碳（CCl4）+（氩、氮） 四氯化碳（CCl4）+氧、四氯化碳（CCl4）+空气 二氟二氯化碳（CCl2F2）+氧、四氟化碳（CF4）+氧 三氟三氯乙烷（C2Cl3F3）+氧、四氟化碳（CF4）+氧 四氟化碳（CF4）+氧、乙烷（C2H6）+氯 四氟化碳（CF4）+氧 四氟化碳（CF4）+氧"
请点击查看电话
检测认证人脉交流通讯录
