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MEMS光栅驱动之功率放大器应用

http://www.testrust.com 来源:https://www.aigtek.com/NewsDetails.aspx?aid=1145 时间:2020-12-02

公益100大型公益质量活动
MEMS(微机电系统)是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。Aigtek功率放大器可来驱动各种MEMS系统器件,常见的产品有 MEMS 麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS 光学传感器、MEMS 压力传感器等等。 MEMS 光栅应用测试: MEMS 光栅采用了硅微加工工艺技术,在外力作用下使光栅的某些特征参数(如周期、光栅等常数)发生改变,从而实时改变光栅的工作性能,实现光栅的可编程应用。MEMS 光栅具有多种驱动方式,而静电驱动的 MEMS 光栅,由于其工艺易于实现、耗能低、频率响应高,因此是最常用的驱动方式。 静电驱动的能量密度较小,当结构需要比较大的工作位移(微米级),就必须增大驱动电压,驱动电压甚至达到上百伏。Aigtek功率放大器可输出200Vpp~1600Vpp 的电压范围,40mA~500mA 的电流输出能力,是可以满足新型的 MEMS 相关应用的动态驱动测试。MEMS光栅基于其独特的优势,MEMS 光栅已经用于光通信、高清显示设备、光谱分析等领域。 ATA-2000 系列功率放大器,可以输出理想的单端及差分信号,为 MEMS 领域的研究提供了快捷的工具。同时该系列功率放大器,设计了良好的过压,过流,短路保护装置,同时为了更好的为 MEMS 测试客户应用,提供的完善的阻抗匹配网络,方便用户选择对应的匹配阻抗。 ATA-2042功率放大器是Aigtek公司生产的宽频双通道高压电源产品,电压范围(0-400Vpp),具有稳定的输出电压、电流、双通道同步输出等特点,同时具有过流、过温保护功能。适用于驱动高压型负载,可放大交、直流信号,输出电流100mA,电压增益数控0~60倍可调,液晶屏幕显示,一键保存常用设置,可与任意品牌信号发生器配套使用,实现任意波形信号的完美放大。

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