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  • 电子束蒸发设备

    　　主要技术指标：1)系统极限真空：经24小时烧烤，连续抽气，可达3*10^-5Pa,系统由大气后开始抽气，40分钟可达3*10^-4Pa；2)系统漏率：停泵关机12小时后真空度=<10Pa;3)样品加热温度：室...

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