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杭州精科仪器有限公司

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FB7008A型多功能等离子体实验仪(直流辉光放电、溅射镀镆)

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    • 本实验由直流高压电源、真空系统、供气系统、辉光放电管、真空镀膜钟罩等部件组成。 实验内容: 可测定探极伏安特性、电子密度、电子温度、电子平均动能、空间电位分布等多种特性参数;了解真空溅射镀膜的原理及基本方法。 技术参数: ●真空系统:采用旋片式真空泵,单相220V,抽气速率:2升/秒极限真空:6×10-1Pa。 ●热偶真空计测量系统测量真空度和检测系统气体样品气压,系统采用金属与O型橡胶密封圈密封。 ●直流高压电源:0~2000V连续可调;放电电流10-6~0.5A可测; ●辉光放电管阳极端有三个探针,可以用单探极法、双探极法、补偿法等进行测量; ●工作气压:10~200Pa可调; ●放电管内径φ40×400mm; ●真空溅射镀膜实验和辉光放电等离子特性测试实验通过按钮开关切换; ●本仪器设置了漏电保护装置; ●仪器配有镀镆片,另配显微镜。

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