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杭州精科仪器有限公司

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FB7008D型多功能等离子体实验仪(溅射镀膜等离子装置)

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    • 本装置由本公司与浙江大学共同研制。 镀膜原理为真空溅射离子、电子飞速运动,放电离子飞速轰击机台靶面,溅击大量(银、铜等)介质,原子逐步沉积到基片衬底表面成膜。 实验内容: ●不同金属材料薄膜制备; ●利用空阴极放电制备了CU和Ag涂层研究空阴极对薄膜结构; ●在光学材料上薄膜的制备及特性的测量的影响; ●研究离子轰击对膜性质的影响。 技术参数: ●真空系统:旋片式真空泵,单相220V; ●工作气压:10~200Pa; ●工作电压:0~1500V可调,工作电流0~200mA可测量; ●基台加热控温系统室温200度; ●溅射镀膜钟罩直径140mm,高度150mm; ●基台可升降,可调范围:10~50mm; ●仪器配有镀膜片,另配显微镜、清洗机。

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