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甲烷

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  • 高纯甲烷燃烧用于制造特种质量电子器件用的炭黑。用于非晶硅太阳电池制造。最近用作大规模集成电路干法刻蚀或等离子刻蚀气的辅助添加气。
    • Methane甲烷 (CH4) Vapor Phase Impurities 气相杂质 Contaminants 杂质 Specifications (ppm) 规格 5N 4.5N 4N 3N C2H6 Ethane乙烷 <1 <15 <25 <600 O2 Oxygen氧气 <2 <5 <10 <50 N2 Nitrogen氮气 <7 <15 <35 <250 H2 Hydrogen氢气 — <5 <10 <50 H2O Moisture水 <2 <5 <15 <50

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