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类型 组分气 稀释气 备注 硼化合物、磷化合物、砷化合物 乙硼烷（B2H6）、三氯化硼（BCl3）、溴化硼（BBr3)磷烷（PH3）、氯化磷（PCl3）、溴化磷（PBr3）砷烷（ASH3）、三氯化砷（ASCl3） 氦、氩、氢氦、氩、氢氦、氩、氢 具有P形性质具有N形性质
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唐刚
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