检测认证人脉交流通讯录
- 分 类 气 体 名 称 单质气体 Ar、H2、O2、He、N2、Cl2 化合物气体 SiH4、PH3、AsH3、B2H6、SiF4、SF6、HCl、H2S、NH3、GeH4、CF4、C2F6、C2F8、C5F12 混合物气体 ①SiH4+稀释气（Ar、He、H2、N2）②PH3+稀释气（Ar、He、H2、N2） ③AsH3+稀释气（Ar、He、H2、N2）④B2H6+稀释气（Ar、He、H2、N2） ⑤HCl +稀释气（Ar、He、O2、N2）⑥H2S+稀释气（Ar、He、H2、N2） ⑦NH3+稀释气（Ar、He、H2、N2）⑧Cl2+稀释气（Ar、He、N2） ⑨CO+ SF6 ⑩H2Se+稀释气（Ar、He、H2、N2）
