检测认证人脉交流通讯录
- ETD-2000C型在ETD-2000型基础上,增加了蒸碳附件。适用于分析型扫描电镜对于不同分析需要的导电膜层制备。
配置参数如下:
仪器尺寸 : 400mm×300mm×400mm(L×W×H)
真空样品室: 硼硅酸盐玻璃 160mm×110mm(D×H)
靶(上部电极): 50mm×0.1mm(D×H)
样品台: 50mm(D) ,自动旋转。
操作真空: 4×10-1mbar至2×10-2mbar
微型真空气阀: 可连接φ3mm软管
可通入气体: 多种
工作电压: 0-1600V (DC)可调
溅射电流: 0-50mA
溅射定时: 1-9999S
蒸碳电流 0-10A(AC)
真空泵: 4L/S两级机械旋转泵(极限真空2×10-2mbar)
样品表面离子清洁(选配)