检测认证人脉交流通讯录
LASERTEC sicwen缺陷检查/评论装置 SICA6X
- 主要规格：
- SiCウェハに最適なコンフォーカル光学系＋微分干渉の採用 ピット、スタッキングフォルト、キャロットなど結晶欠陥を高感度に検出 裏面反射光に影響されない安定した欠陥検査 高解像度レビュー機能 欠陥マップ表示機能、欠陥分類機能 オートローダー標準装備
- 用 途：
- SiCウェハ、エピウェハの出荷・受入検査 SiCエピタキシャル成長プロセスの管理 SiC研磨プロセスの管理 SiCデバイス製造プロセスの管理、キャロットなど結晶欠陥を高感度に検出 裏面反射光に影響されない安定した欠陥検査 高解像度レビュー機能 欠陥マップ表示機能、欠陥分類機能 オートローダー標準装備
- 特長
SiCウェハに最適なコンフォーカル光学系＋微分干渉の採用
ピット、スタッキングフォルト、キャロットなど結晶欠陥を高感度に検出
裏面反射光に影響されない安定した欠陥検査
高解像度レビュー機能
欠陥マップ表示機能、欠陥分類機能
オートローダー標準装備
用途
SiCウェハ、エピウェハの出荷・受入検査
SiCエピタキシャル成長プロセスの管理
SiC研磨プロセスの管理
SiCデバイス製造プロセスの管理
仕様
装置サイズ
2,000mm（W） × 1,700mm（D） × 2,000mm（H）
※装置本体、検査部ラック、オペレーションデスクを含む）
対応基板サイズ
最大φ6インチ
検査対象ウェハ
バルクSiC、エピ膜付SiC
スループット
20枚（φ3インチ） / 時間
深圳京都玉崎株式会社
- 地址：
- 江苏苏州市高新区竹园路7号中梁香缇商务广场2栋1201室
