检测认证人脉交流通讯录
LASERTEC 晶圆边缘检查设备 EZ300
- 主要规格：
- コンフォーカル光学系による高コントラスト画像を用いた欠陥検査 独自のアルゴリズムによる凹凸判定を含めた自動欠陥分類 欠陥種の特定・推測が容易となる、高解像度3D測定機能
- 用 途：
- インラインQCによるウェハ外周部の定量管理及び異常プロセス発生時の早期アラーム SPC（Statistical Process Control）によるウェハ外周部の不良チップ発生時の後追い解析 ウェハ外周部の欠陥による、歩留まり悪化原因の把握・解析
- 特長
コンフォーカル光学系による高コントラスト画像を用いた欠陥検査
独自のアルゴリズムによる凹凸判定を含めた自動欠陥分類
欠陥種の特定・推測が容易となる、高解像度3D測定機能
用途
インラインQCによるウェハ外周部の定量管理及び異常プロセス発生時の早期アラーム
SPC（Statistical Process Control）によるウェハ外周部の不良チップ発生時の後追い解析
ウェハ外周部の欠陥による、歩留まり悪化原因の把握・解析
深圳京都玉崎株式会社
- 地址：
- 江苏苏州市高新区竹园路7号中梁香缇商务广场2栋1201室
