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  • 俄歇电子能谱 (AES, Auger)

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  • 对应法规:GB,ISO,ASTM
    CNAS认可项目:是
  • 俄歇电子能谱(AES、Auger)是一种利用高能电子束为激发源的表面分析技术. AES分析区域受激原子发射出具有元素特征的俄歇电子。 AES电子束可以扫描一块或大或小的表面. 它也可以直接聚焦在小块表面形貌上(半导体产业经常要求这样)。聚焦电子束斑到10nm或更小的直径使得AES成为小表面形貌元素分析的非常有用的工具。此外,它能够在可调整的表面区域内栅蔽电子束从而控制分析区域的尺寸。 当用来与溅射离子源的结合时, AES能胜任大、小面积的深度剖面。 当与聚焦离子束(FIB)一起使用时,它对于截面分析是很有用的。 欢迎来电咨询。 咨询电话:189 2932 2016;联系QQ:254755933;
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曾菲

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