车载芯片、集成电路AEC-Q100认证

AEC-Q100认证是什么？

AEC-Q100是基于集成电路应力测试认证的失效机理。

  如果成功完成根据本文件各要点需要的测试结果，那么将允许供应商声称他们的零件通过了AEC Q100 认证。供应商可以与客户协商，可以在样品尺寸和条件的认证上比文件要求的要放宽些，但是只有完成要求实现的时候才能认为零件通过了AEC Q100 认证。

零件工作温度等级的定义

零件工作温度等级定义如下：

0 等级：环境工作温度范围-40℃-150℃

1 等级：环境工作温度范围-40℃-125℃

2 等级：环境工作温度范围-40℃-105℃

3 等级：环境工作温度范围-40℃-85℃

4 等级：环境工作温度范围0℃-70℃

AEC-Q100认证的要求及目的

2.测试样品：

1）批次要求：测试样品应该由认证家族中有代表性的器件构成，由于缺少通用数据就需要有多批次的测试，表1 中列出的测试样品必须是由非连续晶圆批次中近似均等的数量组成，并在非连续成型批次中装配。即样品在生产厂里必须是分散的，或者装配加工线至少有一个非认证批次；

2）生产要求：所有认证器件都应在制造场所加工处理，有助于量产时零件的传输。其他电测试场所可以在其电性质证实有效后用于电测量。

3）测试样品的再利用：已经用来做非破坏性认证测试的器件可以用来做其他认证测试，而做过破坏性认证测试的器件则除了工程分析外不能再使用；

4）样品尺寸要求

   用于认证测试的样品尺寸与（或）提交的通用数据必须与表1中指定的最小样品尺寸和接受标准相一致。如果供应商选择使用通用数据来认证，则特殊的测试条件和结果必须记录并对使用者有可用性。现有可用的通用数据应首先满足这些要求和表1的每个测试要求。如果通用数据不能满足这些要求，就要进行器件特殊认证测试。

5)预前应力测试和应力测试后要求：表1中的附加要求栏为每个测试指定了终端测试温度（室温、高温和低温）。温度特殊值必须设有最差情况，即每个测试中用至少一个批次的通用数据和器件特殊数据来设置温度等级极端。

6）应力测试失效后的定义：

  测试失效定义为设备不符合测试的器件规范和标准规范，或是供应商的数据表，任何由于环境测试导致的外部物理破坏的器件也要被认为是失效的器件。如果失效的原因被厂商和使用者认为是非正确运转、静电放电或一些其他与测试条件不相关的原因，失效就算不上，但作为数据提交的一部份上报。

AEC-Q100试验后元器件失效分析项目：

① 形貌分析技术：体视显微镜、金相显微镜、X射线透视、声学扫描显微镜、扫描电镜、透射电镜、聚焦离子束。

② 成分检测技术：X射线能谱EDX、俄歇能谱AES、二次离子质谱SIMS、光谱、色谱、质谱

③ 电分析技术：I-V曲线、半导体参数、LCR参数、集成电路参数、频谱分析、ESD参数、电子探针、机械探针、绝缘耐压、继电器特性。

④ 开封制样技术：化学开封、机械开封、等离子刻蚀、反应离子刻蚀、化学腐蚀、切片。

⑤ 缺陷定位技术：液晶热点、红外热像、电压衬度、光发射显微像、OBIRCH。

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