紫外/臭氧清洗金属类样品表面污染
http://www.testrust.com 来源：天美（中国）科学仪器有限公司 时间：2014-08-21
样品表面碳氢化合物污染是电子显微镜低加速电压观察经常遇到的问题。样品在较高的加速电压下(如20kv)看似很干净无电子束污染，但在5kv及以下时则会看到清晰的污染现象。
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