检测认证人脉交流通讯录
蓝宝石晶体定向仪
- 用 途：
- 针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量
- YX-2D6通用型配置如下：
（适用晶片、晶棒）
1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片；111, 100, 211等角度；能测晶棒参考面110；OF等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。
2、另一侧GC测角仪能测Φ2---Φ6英寸晶圆片111, 100,211 等角度；能测晶棒Φ2---Φ6英寸,400㎜长晶棒端面 111, 100等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。
X 射 线 管 铜靶，阳极接地，强迫风冷
管 电 压 30KVP，全压合闸
管 电 流 0-5mA，连续可调
整机功率 交流220V 不大于0.3KW
综合精度 ±30″
角度数字显示 以度、分、秒显示，最小读数10″
计数器旋转角度 2θ角-10°------+110°
样品晶体旋转角度 θ角-10°------+55°
计 数 管 盖革计数管，工作电压500-----1100V
时 间 常 数 分0.1、0.4、3秒三档可调
保 护 高压连锁保护，温度保护
狭 缝 4′、5′、6′
可测晶体重量 最重30KG的晶棒
可测晶体直径 GA Φ2-------Φ6英寸晶圆片
可测晶棒长度 GC Φ2-------Φ6英寸,400毫米长晶棒
工 作 位 双测角仪、双工作台
外型尺寸 1140mm×650mm×1030mm
仪器重量 200KG
