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测量原理 白光干涉测量 测量物镜 10X 20X 50X 垂直测量范围： 100um(400um可选) 垂直分辨率 0.1nm X,Y测量范围： 1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm 工作距离： 3.6mm 3.6mm 1.7mm 侧向分辨率 2.5um 1.25um 0.5um
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