检测认证人脉交流通讯录
- 本实验装置主要由真空系统、微波激励系统、供气系统、基片温控加热系统以及循环水冷却系统等组成。微波源产生2.45GHz的微波，沿着波导管传输，经环行器、四钉阻抗调配器等装置，到达谐振腔反应室，气体在微波的激励下，获得很大的能量，在反应室的工作平台处，形成球状的等离子体。本装置适合高校近代物理、材料物理等专业作为等离子体研究与技术应用方面实验。
实验内容：
●HFPCVD法在基片上制备各种功能薄膜材料；
●MWPCVD法多壁碳纳米管阵列的化学气相沉积制备；
●浮动催化裂解法制备单壁碳纳米管；
●PECVD制备一维纳米结构；
●MWP化学合成。
技术参数：
●微波源功率： 0~900W，连续可调；
●真空系统：机械式真空泵，交流市电 220V，抽速：2L/s极限气压：≤0.6Pa；
●供气系统：四路独立供气管路，一路载气，流量分别由转子流量计控制；
●封闭式内循环水冷温度调节系统，连续工作系统温度≤30℃ ；
●微波传输及微波谐振腔：配有环行器、水负载、四钉阻抗调配器，短路活塞，保证微波源安全工作。微波反射检波测量系统，保证等离子体充分吸收微波的能量；
●反应室工作气压：几帕~十千帕。反应室由石英玻璃制作：直径φ44mm；
●基片温度范围：200~1050℃，用热电偶测温，采用PID控温。
●实验结束，将硅衬底，通过扫描电子显微镜（SEM）（用户自备）观察衬底表面可以发现网格状的BN纳米棒。
