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日本岛津X射线荧光光谱仪 μEDX系列

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  • 品  牌:
  • 主要规格:
  • 用  途:
  • 电子材料/部件的镀层膜厚測定、异物检测、失效解析及成图分析。
    • 产品信息

      μEDX.jpg

      采用专利的X射线集束毛细管透镜,X射线只照射样品的50μmφ微小领域,从而达到高灵敏度、高精度分析!

      μEDX大幅度地提高了传统的X射线荧光光谱仪无法完成的微小领域分析的灵敏度。配备新开发的X射线集束毛细管透镜,实现了最小分析直径达50μm的微区测定,适合半导体/电子部件/食品领域等高灵敏度、高分辨率分析。


      • 采用岛津独创的X射线聚光透镜[集束毛细管透镜],X射线只照射样品的50μmφ微小领域,实现高灵敏度、高精度分析。
      • 可以在大气中进行从轻元素到重元素(Na~U:μEDX-1300;Al~U:μEDX-1200/ 1400)的分析。
      • 配备双CCD(高倍率,低倍率)摄像头,可以在观察样品图像的同时方便地决定分析位置,进行分析。
      • 标准配备无标样定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以测定聚合物薄膜的背景基本参数(BG-FP)法。
      • 作为微区X射线荧光光谱分析装置,在世界上率先配备了5种1次X射线滤光片自动交换机构,可消除来自X射线管的特征X射线,提高信噪比。
      • 配备多元素同时/自动扫描成图功能。采用高速扫描成图,在短时间内便可获得图像(μEDX-1200/1300)。追加透射观察单元(选购),也可进行透射X射线的同时测定。
      • 配备电子冷却式高计数率检测器。无需液氮,可进行高精度分析。
        (μEDX-1400)
      • 可轻松地进行电子材料/部件的镀层膜厚測定、异物检测、失效解析及成图分析。

                  μEDX 1.gif                 μEDX 2.gif
                 印刷电路板焊接部分的分析             手机部件的扫描成图分析


      ※如有外观及规格的变动,恕不另行通知。

    昆山华乃尔精密电子有限公司

    曹流

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