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成都市新都道和电工研究所

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真空镀膜电源

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    • 真空镀膜电源 成都市新都道和电工研究所研发的DHEP系列逆变偏压电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等。主要作用:对被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火,明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。DHEP系列偏压电源是传统直流偏压电源的更新换代产品。 主要特点 1.采用先进的开关电源技术,具有体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小等优点。DHEP系列偏压电源在节能和镀膜工艺的稳定性上显示出明显的优势。 2.具备自动稳压功能,可在电网电压和负载波动情况下,保证电源高效、稳定地工作,充分保证镀膜工艺的重复性。 3.针对实际工作时存在的频繁打火现象,设计了多重实用保护措施。DHEP系列电源能在频繁打火时充分保护电源及生产工件不被损坏,并且能连续稳定工作。 4.可选择近地手动控制、远端手动控制、模拟量控制接口和数字控制接口 主要技术参数 1. 输入电压: AC380V/220VAC 50Hz 2. 工作效率:≥90% 3.输出电压:0-10KV 连续可调 4.输出电流:0-1A连续可调 5.输出纹波:≤0.1%) 6.控制精度:≤1% 7. 控制模式:恒流/恒压/恒功率 可选 8. 外部接口: PLC模拟信号/RS485 可选 9.绝缘电阻:≥200MΩ 10.绝缘耐压:≥1500V/1分钟 11. 环境温度:0~50℃ 12、保护方式:具有过压、过流、缺相、过载等保护功能。告警功能:具有电流告警、短路告警功能。 (可根据客户需求定做) 直流镀膜电源 偏压电源
    成都市新都道和电工研究所

    张生

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