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微机电气体质量流量计微机电气体质量流量计
产品概述微机电气体质量流量计采用微机电系统（MEMS）流量传感芯片技术和计算机自适应技术，历经多年开发的
智能化全电子式气体质量流量仪表。主要技术性能处于国际领先水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比（100：1）等特点；适用于测量空气、氨气、氧气、氩气、二氧化碳、氢气等介质。
针对工业环境，微机电气体质量流量计融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计，且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能；本产品在性能、安装、维护方面也具有其独特的优越性，可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。
本系列流量计执行标准为：Q/77453766-1.1-2006。参照执行标准：ISO14511；GB/T20727-2006。产品特点
采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料加工技术，传感器的尺寸缩小到微米量级，使流量计的灵敏度大大提高。在单个芯片上实现了多传感器集成，使流量计的量程比（范围度）大大提高。结合二次仪表的微电脑智能技术，使流量计重复性更好，实现了计量准确可靠。技术进步带来的结构简化，使流量较之传统的机械式仪表，压力损失大幅度减小，极大地降低了能源消耗。采用LCD显示瞬时流量和累计流量，清晰直观，读书方便。产品融合了电磁兼容设计技术，具有高抗干扰能力。本流量计带有RS485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理。可以选配4-20mA标准电流信号输出。通过国家防爆认证，标志为Ex ia ⅡC T4，可用于易燃易爆气体工作原理
微机电系统（MEMS）芯片传感技术，是在硅芯片上集成了具有机械和电子特性
的微米级传感器。它并不是简单地将机械和电子功能微缩在芯片上，而是采用了现代
材料制作技术与大规模集成电路技术相结合获得新的机电特性。微机电系统芯片可实
现某些宏观机电器件所不能达到的功效。
MF系列质量流量计采用了本公司生产的热质量气体流量传感芯片，属于质量流量
传感方式的流量计，它是通过气体流动产生的热场变化来测量气体流量的。由于不同
质量的气体对热场的变化具有不同的影响，因而，它所测量的流量为质量流量。
不同于传统的“热丝”方式采用了多个热传感器及热源来测量气体的质量流量（
风速式热质量流量原理），微机电系统芯片热质量流量传感器采用了多个热传感器和
一个微热源（量热式热质量流量原理），大大减少了环境对测量的影响。微机电系统
芯片热质量流量传感器的热源十分微小，采用插入式在相对大的流场中，在无气体流
动时，传感器的热源对环境无影响，不会像传统的热丝式质量流量计那样造成气体的
对流。因而，微机电系统芯片热质量流量传感器具有优良的零点稳定性和极短的响应
时间。
本流量计主要由电源模块、MEMS流量传感芯片、信号处理模块、A/D转换模块、
EEPROM存储器、RTC实时时钟模块以及显示模块组成。技术指标
范围度 ＞100：1
精度 ±（1.0+0.15FS）%；±（1.5 +0.15FS）%
重复性 ±0.5% ±0.75%
工作压力 ＜2.5MPa 2.5～4.0 MPa为定制产品
环境温度 -10-55℃
介质温度 -20-60℃
湿度 ＜95%RH
LCD显示 总量（Nm3），流量（Nm3/h）
供电方式 8-24VCD；110/220VAC（适配器供选）
校准条件 空气、20℃；101.325KPa；可根据用户要求进行实际介质标定
材料/机械连接 不锈钢；法兰/NPT/BSPT
数据存储 可自动存储数据
输出（选项） RS485；4-20mA；脉冲
用户控制（选项） 用户界面软件
防护等级 IP65
防爆等级 Ex ia ⅡC T4
产品概述微机电气体质量流量计采用微机电系统（MEMS）流量传感芯片技术和计算机自适应技术，历经多年开发的
智能化全电子式气体质量流量仪表。主要技术性能处于国际领先水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比（100：1）等特点；适用于测量空气、氨气、氧气、氩气、二氧化碳、氢气等介质。
针对工业环境，微机电气体质量流量计融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计，且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能；本产品在性能、安装、维护方面也具有其独特的优越性，可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。
本系列流量计执行标准为：Q/77453766-1.1-2006。参照执行标准：ISO14511；GB/T20727-2006。产品特点
采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料加工技术，传感器的尺寸缩小到微米量级，使流量计的灵敏度大大提高。在单个芯片上实现了多传感器集成，使流量计的量程比（范围度）大大提高。结合二次仪表的微电脑智能技术，使流量计重复性更好，实现了计量准确可靠。技术进步带来的结构简化，使流量较之传统的机械式仪表，压力损失大幅度减小，极大地降低了能源消耗。采用LCD显示瞬时流量和累计流量，清晰直观，读书方便。产品融合了电磁兼容设计技术，具有高抗干扰能力。本流量计带有RS485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理。可以选配4-20mA标准电流信号输出。通过国家防爆认证，标志为Ex ia ⅡC T4，可用于易燃易爆气体工作原理
微机电系统（MEMS）芯片传感技术，是在硅芯片上集成了具有机械和电子特性
的微米级传感器。它并不是简单地将机械和电子功能微缩在芯片上，而是采用了现代
材料制作技术与大规模集成电路技术相结合获得新的机电特性。微机电系统芯片可实
现某些宏观机电器件所不能达到的功效。
MF系列质量流量计采用了本公司生产的热质量气体流量传感芯片，属于质量流量
传感方式的流量计，它是通过气体流动产生的热场变化来测量气体流量的。由于不同
质量的气体对热场的变化具有不同的影响，因而，它所测量的流量为质量流量。
不同于传统的“热丝”方式采用了多个热传感器及热源来测量气体的质量流量（
风速式热质量流量原理），微机电系统芯片热质量流量传感器采用了多个热传感器和
一个微热源（量热式热质量流量原理），大大减少了环境对测量的影响。微机电系统
芯片热质量流量传感器的热源十分微小，采用插入式在相对大的流场中，在无气体流
动时，传感器的热源对环境无影响，不会像传统的热丝式质量流量计那样造成气体的
对流。因而，微机电系统芯片热质量流量传感器具有优良的零点稳定性和极短的响应
时间。
本流量计主要由电源模块、MEMS流量传感芯片、信号处理模块、A/D转换模块、
EEPROM存储器、RTC实时时钟模块以及显示模块组成。技术指标
范围度 ＞100：1
精度 ±（1.0+0.15FS）%；±（1.5 +0.15FS）%
重复性 ±0.5% ±0.75%
工作压力 ＜2.5MPa 2.5～4.0 MPa为定制产品
环境温度 -10-55℃
介质温度 -20-60℃
湿度 ＜95%RH
LCD显示 总量（Nm3），流量（Nm3/h）
供电方式 8-24VCD；110/220VAC（适配器供选）
校准条件 空气、20℃；101.325KPa；可根据用户要求进行实际介质标定
材料/机械连接 不锈钢；法兰/NPT/BSPT
数据存储 可自动存储数据
输出（选项） RS485；4-20mA；脉冲
用户控制（选项） 用户界面软件
防护等级 IP65
防爆等级 Ex ia ⅡC T4
