检测认证人脉交流通讯录
新宇宙式特气检测部 PS-7（半导体工厂用） 带显示的检测部
- 特点
气体采样流量自动控制功能
LCD显示，现场状态一目了然
实现小型、轻量化
可简单地更换传感器和采样气路
带有防止传感器单元错误插入的功能
可以设定多样的维护模式
组合对应热分解单元与定电位电解式传感器，能检测NF3等
实现了用PDA读取数据
符合CE规格，SEMI规格
型号 PS-7
标准型 附带转换器组件型
检测原理 •定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式•热分解+定电位电解式
采样方式 泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自动控制）
采样配管 特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内
气体浓度显示 液晶数字四位显示（附带单位）20分割条形图
报警接点 •气体报警（1段以及二级） 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 1段 ALARM1 ALARM2显示
•流量降低报警 堵塞指示显示：流量显示为低速运转 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态
•传感器故障报警/传感器误插入报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 SENS.显示
•热分解炉断线报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 CONV.显示
外部输出 气体浓度模拟输出 DC4~20mA（与电源的负极通用） 气体报警接点（1段以及两极） 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 （开路集电极/自动复位）
适合电缆线 幕电缆线（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃（但是不能有剧烈的温度变化）、30~85%RH（但不能结露）
使用电源 DC24V±10%
消耗电力 约7w
尺寸 •W62xH124xD143mm(除去突起物)•W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物)
重量 约1.0kg
安装方法 壁挂式
