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分光系统：光栅模式； 红外扩展：最远达25um； 近红外：2500nm； 光谱扫描精度：小于0.05nm； 可变角测量：8到90度； 光束直径：1mm-8mm。 Sopra公司是世界上最知名的椭偏仪设备供应商，其高精度的椭偏仪在半导体、化合物半导体（GaAs/SiC）、LCD及MEMS领域有着非常广泛的应用。目前，全世界有超过500台的Sopra椭偏仪应用于各个行业
光学薄膜与材料研究室
周明
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