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硅芯片检查显微镜LW300MT

  • 这真不是您需要的产品?
  • 品  牌:
  • 主要规格:
  • LW300MT
  • 用  途:
  • 适用于硅、砷化镓、磷化铟等基片6″8″盘的生产工艺检查;可以方便的快移和精确的位移检查;也可以适用其它需较大面积标本的工艺检查。
    • 仪器用途:

      LW300MT专为微电子行业量身定做,适用于硅、砷化镓、磷化铟等基片6″8″盘的生产工艺检查;可以方便的快移和精确的位移检查;也可以适用其它需较大面积标本的工艺检查。

      技术要求:

      目  镜:10X 广角目镜, 焦距25 mm, 视场数Φ22 mm。

      三目镜: 30°倾斜,瞳距:53~75 mm。

      物  镜:无限远平场消色差明/暗视场物镜 (无盖玻片)
       
      放大倍数
      数值孔径
      工作距离(mm)
      备注
      5X
      0.12
      9.70
       
      10X
      0.25
      3.73
      20X
      0.40
      7.23
      40X
      0.60
      3.04
       
       
       
       
       
       

      转换器: 四孔滚珠内定位转换器。

      载物台:双层机械式载物台, 尺寸:210 X 140 mm,移动范围:75 X 50 mm。

      聚光镜:阿贝聚光镜(带孔径光栏, 数值孔径1.25)。

      调焦机构:粗微同轴调焦,粗动手轮松紧可调,带限位锁紧装置,微动格值2μm/格。

      照  明:上光源(落射照明)12V50W卤素灯,亮度可调。下光源(透射照明)12V30W 卤素灯,亮度可调。

      电  源:输入电源电压 (85~265V 50/60Hz)。

      选购件:

      1、目镜:WF16X/11mm,WF20X/9mm,10X带尺可调目镜
      2、物镜:PL4X,PLL40X,PLL50X,PLL60X,PLL100X(干镜),PL100X(oil)
      3、摄像系统:数码摄像头130万或300万,数码相机
      4、测量软件,金相分析软件等

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