检测认证人脉交流通讯录
质量流量控制器
- 主要规格:
- 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:标准温度………………0℃(273.15K),标准压强………………101325Pa
- 用 途:
- 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。
- 型号:LF
测量范围:0.5(m3/h)
精度等级:1%
公称通径:3,6,8,10(mm)
适用介质:全部纯洁的气体
工作压力:3-10MPA(MPa)
工作温度:0-65(℃)
商品简介
"用 途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。
广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。"
详细参数
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA
输入设定电压…………0~+5.00V
输出电压检测…………0~+5.00V
技术性能指标
满量程流量范围(N2):5SCCM~10SLM
控制范围:2~100%F.S.
阀类型(及阀初始状态):电磁调节阀(常闭)
准确度:±1%F.S.
线性:±0.5%F.S.
重复精度:±0.2%F.S.
响应时间:≤2sec
工作温度范围:5~65℃
工作压差:0.1~0.3MPa
耐压:3MPa ,10MPa
漏气率:1×10-9atm.cc/sec He
通道湿材料:316L不锈钢、密封材料
静密封材料:氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶)
动密封材料:氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯)
接头选择 VCR 1/4”
Swagelok 1/4”或φ6、φ3
重量:1.2Kg
成都莱峰科技有限公司
张先生
- 地址:
- 中国.成都.成华区.泰兴路36号418(二环北四段)