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质量流量控制器

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  • 品  牌:
  • 主要规格:
  • 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:标准温度………………0℃(273.15K),标准压强………………101325Pa 
  • 用  途:
  • 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。
    • 型号:LF 测量范围:0.5(m3/h) 精度等级:1% 公称通径:3,6,8,10(mm) 适用介质:全部纯洁的气体 工作压力:3-10MPA(MPa) 工作温度:0-65(℃) 商品简介  "用 途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。 广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。" 详细参数 标准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:  标准温度………………0℃(273.15K) 标准压强………………101325Pa 输入和输出: 输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA 输入设定电压…………0~+5.00V 输出电压检测…………0~+5.00V 技术性能指标  满量程流量范围(N2):5SCCM~10SLM 控制范围:2~100%F.S. 阀类型(及阀初始状态):电磁调节阀(常闭) 准确度:±1%F.S. 线性:±0.5%F.S. 重复精度:±0.2%F.S. 响应时间:≤2sec 工作温度范围:5~65℃ 工作压差:0.1~0.3MPa 耐压:3MPa ,10MPa                     漏气率:1×10-9atm.cc/sec He 通道湿材料:316L不锈钢、密封材料 静密封材料:氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶) 动密封材料:氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯) 接头选择 VCR 1/4” Swagelok 1/4”或φ6、φ3 重量:1.2Kg
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    张先生

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