检测认证人脉交流通讯录
LASERTEC 膜厚不均匀检查装置 MR300
- 主要规格：
- 高解像光学系により、イメージセンサの品質を左右する微小な表面形状変化を検出可能 下地の影響を受けにくいため、表面層の情報を正確に取得可能 In Line における全数検査が可能
- 用 途：
- レジスト、カラーフィルタおよび各種デポ膜の膜厚不均一性検査 マイクロレンズの形状変化検査 裏面照射型CMOSイメージセンサの裏面薄化プロセスにおける表面形状検査 微小欠陥、異物、スクラッチ等の検査
- 特長
高解像光学系により、イメージセンサの品質を左右する微小な表面形状変化を検出可能
下地の影響を受けにくいため、表面層の情報を正確に取得可能
In Line における全数検査が可能
用途
レジスト、カラーフィルタおよび各種デポ膜の膜厚不均一性検査 マイクロレンズの形状変化検査
裏面照射型CMOSイメージセンサの裏面薄化プロセスにおける表面形状検査
微小欠陥、異物、スクラッチ等の検査
仕様
対応基板サイズ
φ200mm、300mm ウェハ
解像度
50μｍ/pixel
スループット
70WPH（300mmウェハ）
深圳京都玉崎株式会社
- 地址：
- 江苏苏州市高新区竹园路7号中梁香缇商务广场2栋1201室
