激光调阻机解决方案
产品特点：调阻精度高
先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束
四线制高速测量系统，测量时间仅为25us
拥有软件预调误差补偿功能
调阻速度快
先进的激光器拥有极高的重复频率，在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度
德国进口扫描振镜，扫描速度极快
高精度分步重复机构，空气轴承，移动速度及加速度快
可靠性高
整机配置核心器件均采用原装进口配置
采用花岗岩台座，稳定可靠
功能强大
拥有温度实时补偿功能
同时具有激光划片和打标功能
运行及维护成本低廉
采用半导体端面泵浦或光纤激光器
使用寿命长，性能稳定
电光转换效率高，节约用电成本
采用风冷系统，无须外置冷却设备
操作简单，无须高额培训成本
激光调阻机技术参数：
激光器系统
激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器
激光波长：1064/532/355nm
激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)
激光频率：200Hz-50KHz
典型光斑尺寸：30µm
实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12µm
泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时
冷却方式：风冷
对焦方式：计算机程序控制
激光束定位系统
激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）
点到点运动时间：5ms（典型）
最大速度：7000mm/s
重复定位精度：2.5µm
激光束最小步进：0.76µm
图像监视系统
监视方式：激光同轴监视
最大放大倍数：>100倍
图像监视显示屏：19寸液晶
测量系统
激励方式：电流/电压激励
恒流源：0.01µA~100mA计算机程控选择
恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）
电阻测量方式：四线制加电流测电压
直流电压测量：10mV~10V（满程电压）
调节对象发热控制：程序可设定
电阻测量精度：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）
电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ
电阻测量速度：25µs
直流电压分辨率：0.16µV（在10mV满量程条件下）
探针板：44针11组四线制（可选其它规格）
探针板运动：计算机程序控制
计算机及软件系统
工业控制计算机（双核），17寸液晶
操作系统：Windows XP
VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大
分步重复运动系统
运动XY范围：290x260mm
运动分辨率：1µm
定位精度：小于6µm（带误差补偿）
重复定位精度：小于3µm
最大运动速度：900mm/s
具有温度补偿等功能
非接触温度测量
温度测量精度：0.2℃
调阻温度修正：计算机程序控制
其它技术指标
供电电压：220V AC
整机功耗：小于1000W
激光调阻机应用和市场：
主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于
厚膜混合集成电路
电子元器件
汽车电器
传感器
军工科研
片式电阻等行业
激光调阻机解决方案
产品特点：调阻精度高
先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束
四线制高速测量系统，测量时间仅为25us
拥有软件预调误差补偿功能
调阻速度快
先进的激光器拥有极高的重复频率，在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度
德国进口扫描振镜，扫描速度极快
高精度分步重复机构，空气轴承，移动速度及加速度快
可靠性高
整机配置核心器件均采用原装进口配置
采用花岗岩台座，稳定可靠
功能强大
拥有温度实时补偿功能
同时具有激光划片和打标功能
运行及维护成本低廉
采用半导体端面泵浦或光纤激光器
使用寿命长，性能稳定
电光转换效率高，节约用电成本
采用风冷系统，无须外置冷却设备
操作简单，无须高额培训成本
激光调阻机技术参数：
激光器系统
激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器
激光波长：1064/532/355nm
激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)
激光频率：200Hz-50KHz
典型光斑尺寸：30µm
实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12µm
泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时
冷却方式：风冷
对焦方式：计算机程序控制
激光束定位系统
激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）
点到点运动时间：5ms（典型）
最大速度：7000mm/s
重复定位精度：2.5µm
激光束最小步进：0.76µm
图像监视系统
监视方式：激光同轴监视
最大放大倍数：>100倍
图像监视显示屏：19寸液晶
测量系统
激励方式：电流/电压激励
恒流源：0.01µA~100mA计算机程控选择
恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）
电阻测量方式：四线制加电流测电压
直流电压测量：10mV~10V（满程电压）
调节对象发热控制：程序可设定
电阻测量精度：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）
电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ
电阻测量速度：25µs
直流电压分辨率：0.16µV（在10mV满量程条件下）
探针板：44针11组四线制（可选其它规格）
探针板运动：计算机程序控制
计算机及软件系统
工业控制计算机（双核），17寸液晶
操作系统：Windows XP
VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大
分步重复运动系统
运动XY范围：290x260mm
运动分辨率：1µm
定位精度：小于6µm（带误差补偿）
重复定位精度：小于3µm
最大运动速度：900mm/s
具有温度补偿等功能
非接触温度测量
温度测量精度：0.2℃
调阻温度修正：计算机程序控制
其它技术指标
供电电压：220V AC
整机功耗：小于1000W
激光调阻机应用和市场：
主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于
厚膜混合集成电路
电子元器件
汽车电器
传感器
军工科研
片式电阻等行业
检测认证人脉交流通讯录
