表面分析实验室配备有世界先进水平的表面分 析仪器，可为数据存储、半导体，光电子器件、纳 米科技等高科技企业提供综合性的表面分析服务， 以满足其亚微米级分辨率、痕量表面灵敏度、微区 样品加工和薄膜分析的要求。 俄歇纳米探针系统（PHI-680 FE AES） 飞行时间二次离子质谱仪 (PHI TRIFT-II TOF-SIMS) 扫描电子显微镜 (JSM-6700 FE-SEM) 超级扫描电子显微镜 (Hitachi S-5200 Super-SEM) 能量色散谱仪 (JSM-6301 SEM/EDX ) 透射电子显微镜 (JEOL JEM2100F TEM / EX-24063JGT EDS / Gatan 794 EELS) 原子力显微镜 (Digital DI 3100 SPM) 聚焦离子束（FEI-200 THP, SII SMI 3050MS2 精细研磨设备(Centar Next-1 TPS-4000 lapping System)