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服务项目：各种固体表面的元素成分、化学价态、分子结构分析和深度剖析等。
测试深度：金属0.5~3nm，氧化物2~4nm，有机物4~10nm；理论测试面积：Φ200μm，Φ400μm，Φ800μm，800μm*2000μm，实际面积在理论面积的三倍以上；定性检测限0.1at%；定量误差±10at%。异物尺寸要求大于Φ2000μm。
测试范围： •检测除了H 、He以外的所有元素 •检测极限:0.1％
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