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可测试范围：
检测原子序数大于氨的所有元素，检测极限：-0.1%；
元素的化学价态信息，深度分布，线扫描，面扫描分析；
配备Rr离子枪，可以测量各个成分的深度分布；
配备俄歇电子能谱，可做成分分析
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