能量分辨率：0.48eV/(Ag 3d5/2），0.68eV/(C 1s)（PET 上O-C=O 的C 1s） 最小分析区域（收谱） <10μm 灵敏度（Ag 3d5/2） ：大面积 11,800kcps (1.3eV ) 空间分辨率 (快速平行成像 )：小于3μm 空间分辨率(扫描成像)：15μm 和27μm。可以分析除氢、氦以外的所有元素，包括元素种类及价态。并可以提供测定元素相对含量的半定量分析。 广泛应用于研究聚合物、无机化合物、有机化合物、催化剂、涂层材料、纳米材料、矿石等各种材料。结合其它表征技术，可以对腐蚀、摩擦、润滑、燃烧、粘接、催化、包覆、氧化等过程进行研究。最具有特色的是XPS可以测定元素的化学价态及化学环境的影响。 通过角分辨法及Ar离子剥离法可以提供元素深度分布信息。 主要用于固体样品表面的组成，能进行定性、半定量分析。该仪器已对上海交通大学的材料科学与工程学院、化学化工学院、物理与天文系、机械与动力工程学院、电子信息与电气工程学院、微纳科学技术研究院、生命科学技术学院，农业与生物学院，药学院，密西根学院及多家校外企事业单位提供了测试服务。该仪器在分析表面化学上的技术优势，为上海交大在涂层材料、纳米材料、催化剂、矿石材料学、医药等领域的研究提供了一定的分析检测的技术支持。