对于常用的金属合金材料（Al，Ti，Fe和Ni），其材料性质和性能主要取决于金属材料组分，金相组织，关键微结构的分布。相比于传统方法使用的金相显微镜，飞纳台式扫描电镜不仅可以在更高倍数下进行观察，还可以使用3D形貌模式金相成像。 对于未腐蚀过的抛光金相样品，我们往往选用背散射电子原子序数成像；对于腐蚀过的金相样品，我们选用表层3D形貌成像。 通过使用飞纳可以帮助材料专家或工程师进行金相分析，质量控制，缺陷分析。金相分析可以展示合金的组分信息、处理工艺与材料特征和性能。例如，在钛合金中，例如，对于钛合金，其屈服强度主要取决于α-laths的厚度。通过精确测量α-laths的厚度后可以通过带入已有模型，对合金性能进行量化预测。图1显示了α-laths相（颜色更暗的相）及其中间夹杂的β-ribs相（颜色更亮的相）。通过统计与测量，测得α-laths相的平均厚度为50-100 nm。超过了传统金相显微镜的分辨率极限（200 nm）。