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离子溅射仪

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  • 主要规格:
  • 用  途:
    • 1.仪器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H 2.工作腔室:硼硅酸盐玻璃 165mm Dia x 125mm H 3.安全钟罩:聚碳酸酯 4.重量:18公斤 5.靶:60 mm 直径 x 0.1mm 厚(金作为标准靶面) 6.样品台直径为60 mm,靶面距离40mm,具有倾斜装置的旋转台 7.真空范围:ATM-1x10-4 mbar 8.沉积电流范围:0-50mA 9.沉积速率:0-25nm/分 10.溅射时间:0-4 分钟 11.预设置针阀:控制氩 12.电源:230 伏 50Hz (10 amp max. including Pump)
    西安莱安工贸有限公司

    谭经理

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