真空紫外氘灯可以传输波长至 115 纳米的深短波紫外线光。光谱范围从 110 到 350 纳米，
在 120 和 160 纳米之间强度特别高。
真空紫外氘灯的应用
高压液体色谱分析仪（HPLC）
高分辨率光学（比如在质检时）
半导体曝光
硅片表面的清洁
将高光能量用于光化学过程
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