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德国普发Pfeiffer涡轮分子泵Hipace 1000-2000 l/s
- 主要规格：
- 德国普发Pfeiffer涡轮分子泵Hipace 1000-2000 l/s
- 用 途：
- 1. 半导体生产 2. 真空炉 3. 质谱分析 4. 研发及化工行业 5. 玻璃及刀具镀膜
- 分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 产品优点：
1. 四种抽速，抽速为自1,000 至 2,000 l/s
2. 对于分子量较小气体以及分子量较大气体的高抽速
3. 适用各种工艺如刻蚀, 溅镀, 要求，耐粉尘
4. 高气流量，即使对于分子量较大的气体
5. 集成的 TC 1200 驱动单元，可直接连接一般电源
6. 支援腐蚀气体
7. 带节气阀门的集成密封气体系统
8. 标准接口界面：RS-485 以及远程控制；Profibus 或者 DeviceNet 可供选择
9. 符合 IP 54 防护标准，适用于工业应用环境
10. 符合 Semi S2 规范
11. 符合 UL, CSA 以及 TÜV 认证
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 适用领域：
1. 半导体生产 2. 真空炉 3. 质谱分析 4. 研发及化工行业 5. 玻璃及刀具镀膜
产品规格：
型号
连接尺寸 DN
抽速 l/s
压缩比
最高启动压强mbar
冷却方式
启动时间
重量
进气口
出气口
氮气N2
氦气He
氢气 H2
氮气 N2
氮气N2
min
kg
HiPaceTM 1200
200
40
1,250
1,300
1,100
>108
2
水冷
2.5
40
HiPaceTM 1500
250
40
1,450
1,350
1,150
>108
2
水冷
2.5
41
HiPaceTM 1800
200
40
1,450
1,650
1,700
>108
1.8
水冷
4
34
HiPaceTM 2300
250
40
1,900
2,050
1,850
>108
1.8
水冷
4
37
伯东企业上海有限公司真空产品事业部
张婷婷
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