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NIKON集成电路检查显微镜ECLIPSE L200/D

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  • 品  牌:
  • 主要规格:
  • 8X8载物台
  • 用  途:
  • 观察测量
    • NIKON将CFI60光学系统用于集成电路检查显微镜,由此获得前所未有的高对比度图象。 CFI60光学系统是将尼康著名的CF(消色差)设计与无限远光学系统结合在一起,使得物镜不仅工作距离更长,而且数值孔径更高;符合SEMI S2-93A,S8-95S设计;利用计算机辅助工程系统(CAE)队机身进行防震设计;具有全面的防污染措施。 NIKON集成电路检查显微镜ECLIPSE L200/D规格 调焦机构 行程29mm,粗调12.7mm/转, 微调0.1mm/转 1µm/格 反射照明器 12V100W卤素灯;电动孔径光阑(中心可调) 固定型视场光阑;可选配小孔光阑 透射照明器 (仅L200D) 12V100W卤素灯;内置式孔径光阑; LWD聚光器 物镜转换器 固定式六孔万能物镜转换器(电动),具有DIC插槽。 目镜筒 超宽视场可倾式三目镜筒 载物台 8X8载物台(205X205mm)(透射50X150mm) 粗微移动可以互相转换,X-Y方向微动手柄位置固。 目镜 CFI目镜系列 物镜 CFI LU/L PLAN系列
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    邵先生

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