检测认证人脉交流通讯录
NIKON集成电路检查显微镜ECLIPSE L200/D
- NIKON将CFI60光学系统用于集成电路检查显微镜,由此获得前所未有的高对比度图象。
CFI60光学系统是将尼康著名的CF(消色差)设计与无限远光学系统结合在一起,使得物镜不仅工作距离更长,而且数值孔径更高;符合SEMI S2-93A,S8-95S设计;利用计算机辅助工程系统(CAE)队机身进行防震设计;具有全面的防污染措施。
NIKON集成电路检查显微镜ECLIPSE L200/D规格
调焦机构 行程29mm,粗调12.7mm/转,
微调0.1mm/转 1µm/格
反射照明器 12V100W卤素灯;电动孔径光阑(中心可调)
固定型视场光阑;可选配小孔光阑
透射照明器
(仅L200D) 12V100W卤素灯;内置式孔径光阑;
LWD聚光器
物镜转换器 固定式六孔万能物镜转换器(电动),具有DIC插槽。
目镜筒 超宽视场可倾式三目镜筒
载物台 8X8载物台(205X205mm)(透射50X150mm)
粗微移动可以互相转换,X-Y方向微动手柄位置固。
目镜 CFI目镜系列
物镜 CFI LU/L PLAN系列