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日本电测荧光膜厚仪
- 用 途：
- 本机能精确测量极细小物件镀膜厚度，可进行单层及多层膜厚测定、合金膜厚成份比同时测定及无素的光谱峰值测定分析。
- 产品型号：EX-3000
品牌：日本电测
产品简介：
本机能精确测量极细小物件镀膜厚度，可进行单层及多层膜厚测定、合金膜厚成份比同时测定及无素的光谱峰值测定分析。
主要技术参数：
仪器特点：
搭载MS-WINDOWS系统（优越的操作性与高精度测定）
使用与IBM PC兼容个人电脑，采用MS-WINDOWS软体，使用时多彩多姿。
采用二种滤波器
用用数位式滤波器外另有机械式滤波器（两种滤波器），在测定时，若是最适当的条件下，
经常可得到最高的精度。
准值仪5种孔径内藏式
最小的准值仪孔径仅0.1 mm，可测定极微小的部品。
标准：0.1,0.2,0.5,1.0,2.0另备有2种特别规格可供选购。
0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
0.05*0.5,0.1,0.2,0.3,0.5
自动测定测量台
利用鼠标来调整测量位置，非常敏捷快速。或是测量位置已完成登陆时，可连续自动测定，
利用座标补正、连结频道，来应付各种测量轨迹。亦可用自动测定来作标准片校正。
优越的显示机能
测定部显示尽像的表示
X线照射部可由WINDOWS画面上取得照射部的表示。从准仪照射测定物的位置，可由倍率
率更机能来实现尽面上测出物放大。
在膜厚测定中的能谱表示
由多频分析器可快速处理能谱分析。可执行测定物的能谱分析表示，操作简单。
提长资料处理的速度
充实测量报告的作成机能
采用MS-WINDOW软件，测定画的撷取，非常简便，可充衬测量报告的制作机能。可同时间
隔处理多项工作，机器在测量中亦可处理其它工作：包括如测量报告的制作。
测定物膜厚附着分布表示
以三次元图案来表示测定物膜厚附着状态的分布，作判定时一目了然。 获得安心的保证性。
自己诊断机能及X线管保食机能
自己诊断机能，迅速的对策来排除机器的因扰。附有X线管的使用时间及耐久时间表示机能，
可加强保养的安全性。
仪器详细介绍：
1. X线源:油浸式1.2mA小型微小焦点X线管. 50kV管电压，可变管电压。
2. 照射方式：由上而下垂直照射方式。
3. 检出器：比例计数管。
4. 滤波器：采用 Co 和 Ni 双滤波器及数字式滤波器，可单一或同时使用。
5. 准直仪：Collimator 采用五种孔径一体成型式，可自动切换使用。
0.1,0.2,0.5,1.0,2.0φ㎜.
(选购) 0.05×0.5,0.05,0.1,0.2,0.5φ㎜.
(选购) 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5φ㎜.
6. 样品观测系统：彩色CCD及高画质显示屏。
7. 多能谱分析器：使用256高频分析器，光谱自动分析，在执行测量及运算时，非常快速。
贰. 计算机操作部:
8. 计算机系统：(※仅供参考)
IBM 兼容中文个人计算机.
CPU：Intel Celeron 1GHz.
RAM：128 MB.
Floppy Disk：3.5 ×1， 40倍速 CD-ROM ×1.
Hard Disk：40 GB.
17" 高画质显示屏.
EPSON彩色喷墨式打印机。
9. 本机型(CO**OS-1X系列)之操作系统采中文窗口(Windows98)对话式操作，非常简便。
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参. 特性说明:
10. 测量项目：
单层膜厚测定.
2层膜厚测定.
3层膜厚测定.
无电解镍膜厚测定.
合金膜厚成份比同时测定.
元素的光谱峰值测定分析.
11. 测量材质：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)为激发法测量。 原子序22以下为吸收法测量。
12. 测量范围：原子序22 ~ 24 ， 约 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 ， 约 0.1 ~ 30 um. 原子序
41 ~ 51 ， 约 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 ， 约 0.05~ 10 um.
13. 测量机能：
同一点重复测定机能
输出形式设定.
能谱测定.
14. 测量条件或膜厚规格可以保存.
当要测量相同的制品时，若测量条件已储存，可以马上进行测量。
最大检量线档案数：可登录储存100组档案。
最大测量档案数 ：可登录储存300组档案。
15. 档案记录：
每一个批号可储存无限个测量数据.(因所使用的计算机之容量大小而定)
每一个测量档案可输入及储存公司名称.
每个批号可单独执行统计处理.
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每个测量档案可输入不同的检量线(校正曲线).
16. 数据处理：
统计值表示：平均值、标准偏差、最大值、最小值、上下限值范围、Cp、Cpk。
X-R 管制图.
柱状图：有自动设定及自己任意设定二种方式。
可彩色打印观物显示屏上所观测之图像。
17. 底材补正：当样品与标准片的底材不同时，可作底材补正。
18. 观物显示屏：十字刻度线的高分辨率彩色观物显示屏。
肆. 安全装置.
19. 本机俱有自动安全断电系统功能.
20. 由锁匙开关来控制X 线输出，以防止外人任意操作.
伍. 其它机能.
21. 密码辨识功能
22. 装置维护调整.
23. 测量部主机： 尺寸：362(W) ×425(D) ×486(H) ㎜.
重量：约 44.2 Kg.
24. 操作部：(※仅供参考)
计算机尺寸：180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜.
重量：约 8.8 Kg.
显示屏尺寸：360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜.
重量：约16.5 Kg.
打印机尺寸：500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜.
重量：约 4.3 Kg.
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柒. X-Y-Z轴可移动式测量台.
25. 测量台尺寸及移动量.
测量台尺寸 170 (W) ×100 (D) ㎜
移动量(X-Y-Z轴) 70 ×70 ×50 ㎜.
26. 测量样品限制.
样品限制高度： 45㎜
样品限制重量： 3 Kg.
捌. 使用电源.
27. 电压: AC100V ±10V ； 50/60Hz
(选购) AC110V， AC220V.
28. 容量: 700V
