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四氟化碳,99.999%

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  • 99.999%
  • 用  途:
    • 产品名称:四氟化碳,四氟甲烷
      分子式:CF4
      分子量:88.01
      CAS号:75-73-0
      气体纯度:四氟化碳>99.999%,氮气< 5 ppm,氧气< 2 ppm,总烃< 1 ppm,一氧化碳< 1 ppm,二氧化碳< 1 ppm,水< 2 ppm,
      气体包装:40L钢瓶,30kg/瓶,32kg/瓶。阀门型号:CGA660,或CGA580、CGA590。或按客户要求。
      四氟化碳性质:在常温下,四氟化碳是无色无臭无味气体。熔点-150℃(-184℃),沸点128℃,密度1.96g/cm3,临界温度-45.67℃,临界压力:3.74MPa,介电常数:1.0006(25℃,0.5MPa)。挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,在900℃时,不与钢、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1MPa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时, 会分解产生有毒氟化物。
      四氟化碳用途:四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,高纯四氟化碳及其高纯气和高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄 膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

    广州市世源气体有限公司

    潘先生

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