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LM25-23龙门式双轴直线电机平台 设计行程：250X230mm 外形尺寸：450X420X180mm 定位分辨率：5um~0.5um 重复定位精度：10um 龙门式结构，直线电机驱动，XY双轴联动 Z轴及试验装置安装接口
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