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AB25-25龙门式空气轴承平台 龙门式空气轴承 X向双直线电机同步驱动 全花岗岩结构 空气轴承整体优化设计 高速、高精度光栅反馈装置 技术指标 设计行程：250mmX250mm 系统分辨率：0.1或0.05微米 重复定位精度：0.5微米 最大运行速度：800mm/s 最大运行加速度：1.5G 负载能力：3Kg
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