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A396 GSL1100X-SPC16-3 等离子3靶溅射仪

  • 这真不是您需要的产品?
  • 品  牌:
  • 主要规格:
  • GSL1100X-SPC16-3
  • 用  途:
  • 适用于实验室的各种复合膜样品制备,及非导体材料实验电极制作。
    • 一、产品简介 GSL1100X-SPC16-3 等离子3靶溅射仪是一款经过CE认证的紧凑型等离子镀膜机。本机是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,最简单、可靠、经济的镀膜设备。它的特别之处是在一个真空室内设计安装了三个靶。旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料。适用于实验室的各种复合膜样品制备,及非导体材料实验电极制作。销售专员:郭英 二、主要特点 1、配置有样品溅射室真空表和溅射电流表,用以指示、监控仪器状态; 2. 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体,获得最佳镀膜效果; 3. 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈,可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象; 4. 陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用; 5. 根据电场中气体电离特性,采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。 6、本仪器也可以作为新材料性能实验的工具。 7、本公司提供样机供用户免费体验,欢迎用户到我们公司使用,免除您的后顾之忧。 三、技术参数 1、靶(上部电极):直径:45mm,厚度:0.12mm 2、真空样品室: 直径:160mm,高:120mm 3、溅射面积:Ф45mm,三区域 4、真空指示表: 最高真空度:≤ 4X10-2 mbar 5、离子电流表: 最大电流:50mA 5、 定时器: 最长时间:900S 6、微型真空气阀: 可连接φ3mm软管 7、可通入气体: 多种 8、最高电压:-1600(-3000)DCV 9、机械泵: 2L/S 北京路业通达材料技术有限公司以诚信为本,严格质量,以科技创新为动力,一切为用户着想,产品远销海外。我们热忱的欢迎您的来电……… 销售专员:郭英 电话:010—51267895 、57218058、57218059 传真:010-60215055

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