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半导体、平板显示
GFC气体质量流量控制器 GFC系列热式气体质量流量控制器是一种经济型产品,有铝和不锈钢两种材料,现场显示仪表. 设计特点 -刚性金属结构 -流程范围从0 开始到10 sccm 直到0到1000 slpm -最大压力500 psig (34.5Bar) -泄漏率1 x 10-7 氦气 -NIST系统标定可追踪的证明 固定 -可倾斜的LCD 读表 -0-5 Vdc 和4-20 个mA 信号输出 -电路保护 -现场和远程控制 -0 到100%比例显示 -可配备流量计算机
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