检测认证人脉交流通讯录
韩国MAT尾气处理设备(Scrubber)适用于：非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气. 处理的气体包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。主要有以下优点：1.整机设计美观,安全标准。2.拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。3.操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用，性价比高4.燃烧反应室可定时自动清洁,长时间运转效率稳定。
