检测认证人脉交流通讯录
- NSC-3000（A）全自动磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达6"旋转平台，支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7Torr，15分钟内可以达到10-6Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-3000（A）带有14”立方形铝质腔体，3个2”的磁控管，DC直流和RF射频电源。在选配方面，我们提供不锈钢腔体，260l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。
NSC-3000（A）全自动磁控溅射系统产品特点：
不锈钢，铝质腔体或钟罩式耐热玻璃
70或250l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
13.56MHz，300-600WRF射频电源以及1KWDC直流电源
晶振夹具具有的<1?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机控制
带密码保护功能的多级访问控制
*的安全联锁功能
预真空锁以及自动晶圆片上/下载片
全自动磁控溅射系统如有需要欢迎访问以下网址与我们取得联系
http://www.nanochina17.com/NChina-Products-21818350/
https://www.chem17.com/st312447/product_21818350.html
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